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TEMPPLATE

温度測定用ステッカー テンプ・プレート / 製品詳細(2)

テンプ・プレート

ミニパーツ(P/N450)

ミニパーツ(P/N450)イメージ

ウエハー表面温度測定に適したミニラベルを新開発。半導体業界標準として使用されている温度測定ラベル・テンププレートに使い勝手を重視した新しいタイプが加わりました。

  • プラズマ雰囲気対策として
    カプトンフィルムでカバー
  • 裏面印刷なので真空中での印刷インク飛散防止(アウトガスを最小限に抑えます)
  • 従来タイプのような、カプトンテープの重ね貼りの必要がなく作業工数短縮(従来の441シリーズの1/3)貼り付け精度向上
  • ラベルの端から示温素子中心まで2mm。
    ウエハー・エッジの温度を測る事が出来る
ミニパーツ(P/N450)

※寸法:5mm × 16mm

パーツナンバー 温度帯
450-043 43-48-54-60
450-065 65-71-76-82
450-087 87-93-98-104
450-110 110-115-121-126
450-132 132-137-143-148
450-154 154-160-165-171
450-176 176-182-187-193
  • インジケータの琥珀色が規定温度になると黒色に変化。
  • 不可逆なので永久記録ができます。
  • 43℃から193℃まで約5℃刻み。
  • 精度 ±1%(100℃以下は±1℃)、反応速度1秒。(精度、反応速度は1気圧における融点利用です)
  • 水、蒸気、ガス、薬品などの影響を受けません。
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テンプ・スパイ

最も経済的な不可逆温度記録ラベル―テンプ・スパイ(TEMP-SPY) 40年以上に亘り、幾百の用途で活用されてきたテンプ・プレートのローコスト化を実現したラベルです。

  • 大口ユーザーに最適な価格で手軽に使用出来る
  • 使い勝手を重視したサイズと温度組み合わせ
  • 長期実績のテンプ・プレート妹版
  • カスタム・デザインの特注もOK
テンプ・スパイ

※寸法:13mm × 21mm
※TS3-043、060、093、126:マイラーカバー ※TS3-160、193、232:カプトンカバー

パーツナンバー 温度レンジ(℃)
TS3-043 43-54-65
TS3-060 60-71-82
TS3-093 93-104-115
TS3-126 126-137-148
TS3-160 160-171-182
TS3-193 193-210-223
TS3-232 232-240-254
  • 水、蒸気、ガス、薬品などの影響を受けません。
  • 精度±1%。(100℃以下±1℃)
  • 操作は、裏ばりをはがして貼り付けるだけです。
  • 反応速度1秒。(水中、緩やかな熱勾配)
  • 単価はテンプ・プレートの約半分。
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カスタムデザイン・ラベル(特注)

テンプ・スパイ、テンプ・プレートと同様のラベルを特注できます。

  • お客様の使い勝手に応じた、大きさ、色、形状、右表にあるレンジの温度組合せ
    (表の温度以外は不可)
  • ロゴプリント等、自由に設計できます。
  • 特注品の経済的発注単位は、5,000枚以上です。(詳しくはご相談ください)
カスタムデザイン・ラベル(特注)
供給できる温度レンジ(℃)
37 43 48 54 60
65 71 76 82 87
93 98 104 110 15
121 126 132 137 143
148 154 160 165 171
176 182 187 193 198
204 210 215 223 232
240 248 254 260 -
お問い合わせ

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