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ウエハー表面温度測定に適したミニラベルを新開発 |
半導体業界標準として使用されている温度測定ラベル・テンププレートに使い勝手を
重視した新しいタイプが加わりました。 |
●プラズマ雰囲気対策としてカプトンフィルムでカバー
●裏面印刷なので真空中での印刷インク飛散防止（アウトガスを最小限に抑えます）
●従来タイプのような、カプトンテープの重ね貼りの必要がなく作業工数短縮
（従来の441シリーズの1/3）貼り付け精度向上
●ラベルの端から示温素子中心まで2mm。ウエハー・エッジの温度を測る事が出来る
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サイズ 5mm×16mm |
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1シート 10枚入 |
| パーツナンバー |
温度帯 |
| 450-043 |
43-48-54-60 |
| 450-065 |
65-71-76-82 |
| 450-087 |
87-93-98-104 |
| 450-110 |
110-115-121-126 |
| 450-132 |
132-137-143-148 |
| 450-154 |
154-160-165-171 |
| 450-176 |
176-182-187-193 |
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・インジケータの琥珀色が規定温度になると黒色に変化。
・不可逆なので永久記録ができます。
・43℃から193℃まで約5℃刻み。
・精度 ±1％（100℃以下は±1℃）、反応速度1秒。※
・水、蒸気、ガス、薬品などの影響を受けません。
※精度、反応速度は1気圧における融点利用です。
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最も経済的な不可逆温度記録ラベル―テンプ・スパイ（TEMP-SPY） |
40年以上に亘り、幾百の用途で活用されてきたテンプ・プレートのローコスト化を
実現したラベルです。
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●大口ユーザーに最適な価格で手軽に使用出来る
●使い勝手を重視したサイズと温度組み合わせ
●長期実績のテンプ・プレート妹版
●カスタム・デザインの特注もＯＫ
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P/N TS-3 |
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1ケース 20枚入
| パーツナンバー |
温度レンジ（℃） |
| TS3-043 |
43-54-65 |
| TS3-060 |
60-71-82 |
| TS3-093 |
93-104-115 |
| TS3-126 |
126-137-148 |
| TS3-160 |
160-171-182 |
| TS3-193 |
193-210-223 |
| TS3-232 |
232-240-254 |
（ビニール袋内に10ラベル／シート×2シート）
TS3-043,060,093,126 … マイラーカバー
TS3-160,193,232 … カプトンカバー
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サイズ 13mm×21mm |
・水、蒸気、ガスなどの影響を受けません。
・精度±1％。（100℃以下±1℃）
・操作は、裏ばりをはがして貼り付けるだけです。
・反応速度1秒。（水中、緩やかな熱勾配）
・単価はテンプ・プレートの約半分。
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テンプ・スパイ、テンプ・プレートと同様のラベルを特注できます。 |
●お客様の使い勝手に応じた、大きさ、色、形状、右表にあるレンジの温度組合せ（表の温度以外は不可）
ロゴプリント等、自由に設計できます。
●特注品の経済的発注単位は、5,000枚以上です。（詳しくはご相談ください）
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供給できる温度レンジ（℃） |
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| 37 |
43 |
48 |
54 |
60 |
| 65 |
71 |
76 |
82 |
87 |
| 93 |
98 |
104 |
110 |
15 |
| 121 |
126 |
132 |
137 |
143 |
| 148 |
154 |
160 |
165 |
171 |
| 176 |
182 |
187 |
193 |
198 |
| 204 |
210 |
215 |
223 |
232 |
| 240 |
248 |
254 |
260 |
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※ご注文に際してご注文方法をご確認ください。
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